반도체 제조용 ALN 히터

중국의 전문 제조업체인 GREENWAY 공장의 반도체 제조용 고급 ALN 히터는 뛰어난 열 전도성, 전기 절연 특성 및 고온 안정성으로 알려진 재료인 질화알루미늄으로 만든 일종의 발열체입니다.

ALN 히터는 정밀한 온도 제어와 효율적인 열 전달이 필요한 다양한 응용 분야에 사용됩니다.

비교 우위

GREENWAY AlN의 열전도율은 약 140-180W/mK로 다른 많은 세라믹 재료보다 훨씬 높습니다. 이를 통해 효율적인 열 전달과 균일한 온도 분포가 가능합니다. 이는 유전 강도가 높은 우수한 전기 절연체이므로 전기 절연이 중요한 응용 분야에 적합합니다.

제품 매개변수

~균일한 표면온도~

FAQ

Q1:ALN 히터는 어떻게 생산되나요?

소결: AlN 분말을 원하는 모양으로 압축한 후 고온에서 소결하여 견고하고 조밀한 세라믹 히터를 형성합니다.

박막 및 후막 기술: 저항 가열 요소는 박막 또는 후막 기술을 사용하여 AlN 기판에 증착되어 정밀한 가열 패턴을 생성합니다.

Q2: 반도체 제조에 AlN 히터를 사용하는 이유는 무엇입니까?

AlN 히터는 웨이퍼 가공, 박막 증착 등 반도체 제조 공정에 필수적인 정밀하고 균일한 가열을 제공합니다. 높은 열 전도성과 전기 절연성은 효율적이고 안정적인 성능을 보장합니다.

Q3: AlN 히터를 특정 용도에 맞게 맞춤화할 수 있습니까?

예. 

①AlN 히터는 특정 응용 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 모양, 크기 및 전력 등급으로 제조할 수 있어 최적의 성능을 보장합니다.

②K형 열전대는 폐쇄 루프 정밀 온도 제어를 위해 사전 내장될 수 있습니다.

③대량 생산 전 프로토타입 제작 및 테스트를 위해 소량 공급이 지원됩니다.